Наиболее распространенным способом возбуждения низкотемпературной плазмы является электрический разряд в газе.

Газ, защищенный от внешних воздействий, совершенно не проводит электрический ток и, следовательно, не ионизирован. При внешних воздействиях, вызывающих ионизацию газа, возможны два вида газового разряда.

В первом случае действует два условия: фактор ионизации газа, и электрическое поле любой напряженности, сообщающее заряженным частицам направленное движение. Устранение любого из факторов приводит к исчезновению тока проводимости в газе. Такой разряд называют несамостоятельным.

Во втором случае, действует только одно условие: имеется постоянно или быстро меняющееся во времени и по направлению электрическое поле. В этом случае возникающий ток проводимости называют самостоятельным разрядом.

На сегодня высокочастотный и электродуговой разряды являются единственным средством для длительного нагрева газа до состояния плазмы. Низкотемпературную плазму получают в высокочастотных и электродуговых генераторах плазмы - плазмотронах.